Effect of PZT Thin Film Orientation on Residual Stress and Electric Properties on Buffer/Si

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of PZT Thin Film Orientation on Residual Stress and Electric Properties on Buffer/Si

著者

和文:	Keisuke Fujito, Naoki Wakiya, Takanori Kiguchi, Nobuyasu Mizutani, Kazuo Shinozaki.
英文:	Keisuke Fujito, Naoki Wakiya, Takanori Kiguchi, Nobuyasu Mizutani, Kazuo Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Key Engineering Materials
英文:	Key Engineering Materials

巻, 号, ページ

Vol. 320 pp. 65-68

出版年月

2006年8月

出版者

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会議名称

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開催地

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