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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Wafer direct bonding by plasma treatment for waveguide isolator 
著者
和文: H.Saito, K.Sakurai, 水本 哲弥.  
英文: H.Saito, K.Sakurai, T.Mizumoto.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:The 11th Microoptics Conference (MOC'05) Technical Digest 
巻, 号, ページ         pp. 128-129
出版年月 2005年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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英文: 
開催地
和文: 
英文:Tokyo 

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