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論文・著書情報


タイトル
和文:マイクロサイズ曲げ試験によるMEMS用厚膜レジストＳＵ－８の塑性変形挙動 
英文:Bensing deformation behaviour of a micro-sized photo-resist for MEMS 
著者
和文: 石山　千恵美 松崎　純平 肥後　矢吉.  
英文: 石山　千恵美 松崎　純平 肥後　矢吉.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第54回高分子討論会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 54    No. 2    pp. 2U16
出版年月 2005年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第54回高分子討論会 
英文: 
開催地
和文:山形 
英文: 

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