Ferroelectric thin film depositions for various types of FeRAMs (ferroelectric random access memories)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ferroelectric thin film depositions for various types of FeRAMs (ferroelectric random access memories)

著者

和文:	Y.Fujisaki, H.Ishiwara.
英文:	Y.Fujisaki, H.Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mater. Res. Soc. Symp. (Materials and Processes for Nonvolatile Memories) Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 830 pp. D2.1.1- D2.1.12

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: