Stress Control and Ferroelectric Properties of Lead Zirconate Titanate (PZT) Thin Film on Si Substrate with Buffer Layers

論文・著書情報

タイトル

和文:	PZT薄膜におけるバッファ層による応力制御と誘電特性
英文:	Stress Control and Ferroelectric Properties of Lead Zirconate Titanate (PZT) Thin Film on Si Substrate with Buffer Layers

著者

和文:	藤戸啓輔, 脇谷尚樹, 水谷惟恭, 篠崎和夫.
英文:	Keisuke Fujito, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani, Kazuo Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	日本応用物理協会
英文:	Japan Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 44 No. 9B pp. 6900-6904

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	強誘電体応用会議

開催地

和文:
英文:	京都

DOI