Numerical Modeling and Spectroscopic Diagnostics of a Pulse-Modulated Inductively Coupled Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical Modeling and Spectroscopic Diagnostics of a Pulse-Modulated Inductively Coupled Plasma

著者

和文:	R. Ye, H. Taniguchi, H. Lange, Norio Kobayashi, S. Ito, 渡辺隆行, Takamasa Ishigaki.
英文:	R. Ye, H. Taniguchi, H. Lange, Norio Kobayashi, S. Ito, Takayuki Watanabe, Takamasa Ishigaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 17th International Symposium on Plasma Chemistry

巻, 号, ページ

pp. Paper ID:410

出版年月

2005年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	17th International Symposium on Plasma Chemistry

開催地

和文:
英文:	Toronto, Canada