分光エリプソメトリによるHfO2薄膜成長過程のその場観察：第一原理計算との比較

論文・著書情報

タイトル

和文:	分光エリプソメトリによるHfO2薄膜成長過程のその場観察：第一原理計算との比較
英文:	In situ spectroscopic ellipsometry study of HfO2 thin-film growth process combined with first-principles molecular-orbital calculation of electronic states

著者

和文:	鄭　仰東, 土屋良重, 佐藤大典, 水田　博, 小田俊理.
英文:	Y. Zheng, Y. Tsuchiya, D.Sato, H. Mizuta, S. Oda.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第52回応用物理学関係連合講演会
英文:	Extended Abstracts (The 52nd Spring Meeting, 2005); The Japan Society of Applied Physics and Related Societies

巻, 号, ページ

Vol. 30a-ZB-5

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:	さいたま
英文: