A New fabrication process of 3-dimensional full bandgap silicon photonic crystal structures at submicron scale

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A New fabrication process of 3-dimensional full bandgap silicon photonic crystal structures at submicron scale

著者

和文:	D. Hippo, Y. Kawata, Y. Tsuchiya, H. Mizuta, S. Oda, K. Urakawa, N. Koshida.
英文:	D. Hippo, Y. Kawata, Y. Tsuchiya, H. Mizuta, S. Oda, K. Urakawa, N. Koshida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	CLEO Europe EQEC 2005

巻, 号, ページ

Vol. CP3-7-THU

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Munich