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論文・著書情報


タイトル
和文:高周波プラズマCVD法により作製されたドープトアモルファス炭素膜の特性評価 
英文: 
著者
和文: 西　英隆, 赤坂　大樹, 大竹　尚登.  
英文: 西　英隆, 赤坂　大樹, 大竹　尚登.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第19回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 94-95
出版年月 2005年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第19回ダイヤモンドシンポジウム 
英文: 
開催地
和文:大阪大学 
英文: 

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