微細ガス流マイクロプラズマの放電特性における媒質ガス依存性

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細ガス流マイクロプラズマの放電特性における媒質ガス依存性
英文:	Discharge characteristics dependence on medium gases in microplasmas

著者

和文:	横山拓馬, 浜田修平, 井深真治, 安岡康一, 石井彰三.
英文:	Takuma Yokoyama, Shuhei Hamada, Shinji Ibuka, Koichi Yasuoka, Shozo Ishii.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成17年電気学会全国大会講演論文集
英文:	2005 Annual Meeting Record I.E.E. Japan

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 239

出版年月

2005年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	平成17年電気学会全国大会
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開催地

和文:	徳島
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