Discharge Characteristics Dependence on Electrodes in Microplasmas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Discharge Characteristics Dependence on Electrodes in Microplasmas

著者

和文:	Takuma Yokoyama, Shuhei Hamada, Hajime Yakushiji, Shinji Ibuka, Koichi Yasuoka, Shozo Ishii.
英文:	Takuma Yokoyama, Shuhei Hamada, Hajime Yakushiji, Shinji Ibuka, Koichi Yasuoka, Shozo Ishii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of Plasma Science Symposium 205 / The 22nd Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 269-270

出版年月

2005年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会

開催地

和文:
英文:	名古屋