Highly conductive hydrogenated nicrocrystalline cubic silicon carbide films deposited by Hot Wire CVD at a low substrate temperature

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Highly conductive hydrogenated nicrocrystalline cubic silicon carbide films deposited by Hot Wire CVD at a low substrate temperature

著者

和文:	S.Miyajima, A.Yamada, M.Konagai.
英文:	S.Miyajima, A.Yamada, M.Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	31st IEEE Photovoltaic Specialists Conf.

巻, 号, ページ

Vol. -

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Florida