Capacitance-voltage study of a-SiCN/Si interfaces fabricated by Hot Wire Chemical Vapor Deposition using hezamethyldisilazane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Capacitance-voltage study of a-SiCN/Si interfaces fabricated by Hot Wire Chemical Vapor Deposition using hezamethyldisilazane

著者

和文:	A.Limmanee, M.Otsubo, T.Sato, S.Miyajima, T.Watahiki, A.Sandhu, A.Yamada adn M.Konagai.
英文:	A.Limmanee, M.Otsubo, T.Sato, S.Miyajima, T.Watahiki, A.Sandhu, A.Yamada adn M.Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Tech. Digest of International PVSEC-15

巻, 号, ページ

Vol. -

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Shanghai