Gas-phase Chemistry Determining the Quality of CVD Diamond

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Gas-phase Chemistry Determining the Quality of CVD Diamond

著者

和文:	T.Yasuda, 伊原学, K. Miyamoto, Y. Genchi, H. Komiyama.
英文:	T.Yasuda, M. Ihara, K. Miyamoto, Y. Genchi, H. Komiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of 11th Int. Cof. on CVD 1990

巻, 号, ページ

pp. 134-140

出版年月

1990年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	11th Int. Cof. on CVD 1990

開催地

和文:
英文: