Tungsten Buried Growth by Using Thin Flow-Liner for Small Collector Capacitance in InP HBT

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tungsten Buried Growth by Using Thin Flow-Liner for Small Collector Capacitance in InP HBT

著者

和文:	Y. Miyamoto, M. Ishida, T. Nonaka, T. Yamamoto, K. Furuya.
英文:	Y. Miyamoto, M. Ishida, T. Nonaka, T. Yamamoto, K. Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Int. Conf. Indium Phosphide and Related Materials

巻, 号, ページ

Vol. TuA-1-4

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	Int. Conf. Indium Phosphide and Related Materials

開催地

和文:
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DOI