Synthesis of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Plasma Chemical Vapor Deposition in Open Air

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Plasma Chemical Vapor Deposition in Open Air

著者

和文:	Yoshimasa Kondo, Takao Saito, Tatsuya Terazawa, Masanori Saito, Naoto Ohtake.
英文:	Yoshimasa Kondo, Takao Saito, Tatsuya Terazawa, Masanori Saito, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 44 No. 52 pp. 1573 - 1575

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI