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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Annealing characteristics of Al-doped hydrogenated microcrystalline cubic silicon carbide films 
著者
和文: Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.  
英文: Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:MRS Proceedings 
巻, 号, ページ Vol. 862       
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Material Research Society 
開催地
和文: 
英文:America 
DOI https://doi.org/10.1557/proc-862-a24.5

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