Characterization of a-SiCN:H Passivation Layer Deposited by Hot Wire Chemical Vapor Deposition using Hexamethyldisilazane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of a-SiCN:H Passivation Layer Deposited by Hot Wire Chemical Vapor Deposition using Hexamethyldisilazane

著者

和文:	Michio Otsubo, Takehiko Sato, Shinsuke Miyajima, Amornrat Limmanee, Tatsuro Watahiki, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Michio Otsubo, Takehiko Sato, Shinsuke Miyajima, Amornrat Limmanee, Tatsuro Watahiki, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	15th International Photovoltaic Science and Engineering Conference

巻, 号, ページ

pp. *

出版年月

2005年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	15th International Photovoltaic Science and Engineering Conference

開催地

和文:
英文:	Shanghai