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論文・著書情報


タイトル
和文:ナノパルスCVD法による準大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜の合成 
英文: 
著者
和文: 近藤好正, 斉藤雅典, 齊藤隆雄, 大竹尚登.  
英文: 近藤好正, 斉藤雅典, 齊藤隆雄, 大竹尚登.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌論文集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 71    No. 12    pp. 1548-1552
出版年月 2005年12月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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英文: 
開催地
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英文: 

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