非シリケート型非晶質ゲート絶縁膜の高温安定性

論文・著書情報

タイトル

和文:	非シリケート型非晶質ゲート絶縁膜の高温安定性
英文:	High-temperature stability of non-silicate amorphous gate dielectrics

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 水谷惟恭, 篠崎和夫.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani, Kazuo Shinozaki.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会2006年年会講演予稿集
英文:	Abstract book of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2006

巻, 号, ページ

No. 2A02 pp. 81

出版年月

2006年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会2006年年会
英文:

開催地

和文:	東京大学　（駒場）
英文: