水熱合成PZT多結晶膜を用いた厚み振動超音波トランスデューサ -高感度化及び広帯域化を目的とした成膜プロセス-

論文・著書情報

タイトル

和文:	水熱合成PZT多結晶膜を用いた厚み振動超音波トランスデューサ -高感度化及び広帯域化を目的とした成膜プロセス-
英文:

著者

和文:	石河睦生, 高瀬真宏, 黒澤実, 橘内洋, 長谷川智仁, 鈴木崇洋, 遠藤聡人, 竹内真一.
英文:	Mutsuo Ishikawa, Masahiro Takase, Minoru Kuribayashi Kurosawa, Hiroshi Kitsunai, Tomohito Hasegawa, Takahiro Suzuki, Akihito Endo, Shinichi Takeuchi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日音講論集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 1201-1202

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日音講論集
英文:

開催地

和文:
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