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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Toughness Measurement of a Micro-Sized Single Crystal Silicon 
著者
和文: S.Koyama, K.Takashima, Y.Higo.  
英文: S.Koyama, K.Takashima, Y.Higo.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Key Engineering Materials 
巻, 号, ページ Vol. 397-300        pp. 292-298
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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