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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:The Mechanical Properties of Microscale MEMS Materials 
著者
和文: T.P.Halford, K.Takashima, Y.Higo.  
英文: T.P.Halford, K.Takashima, Y.Higo.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Thin Solid Films 
巻, 号, ページ Vol. in publication       
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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