Mechanical Properties Measurement of Microscale Materials for MEMS Application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Properties Measurement of Microscale Materials for MEMS Application

著者

和文:	Y.Higo, T.P.Halford, K.Takashima.
英文:	Y.Higo, T.P.Halford, K.Takashima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	11th International Conference on Fracture

巻, 号, ページ

Vol. CD-ROM

出版年月

2005年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	11th International Conference on Fracture

開催地

和文:
英文:	Turin, Italy