Effect of AlN nucleation processeson polarity, mosaicity and morpforogy of AlN thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of AlN nucleation processeson polarity, mosaicity and morpforogy of AlN thin films

著者

和文:	Toru Kinoshita, Misaichi Takeuchi, Koji Kawasaki, Kazuya Takada, Yoshiobu Aoyagi.
英文:	Toru Kinoshita, Misaichi Takeuchi, Koji Kawasaki, Kazuya Takada, Yoshiobu Aoyagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. Th-P-124

出版年月

2005年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	6th Inter. Conf. on Nitride Semiconductors

開催地

和文:
英文:	Bremen, germany