Nano-fabrication of GaN-based striped structures by combination of dry and wet etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nano-fabrication of GaN-based striped structures by combination of dry and wet etching

著者

和文:	M. Itoh, T. Kinoshita, C. Koike, M. Takeuchi, K. Kawasaki, Y. Aoyagi.
英文:	M. Itoh, T. Kinoshita, C. Koike, M. Takeuchi, K. Kawasaki, Y. Aoyagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. B-7

出版年月

2005年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	24th Electronic Materials Symposium

開催地

和文:
英文:	MERUPARUKU MATSUYAMA