Atomic Force Microscope Cantilever Array for Parallel Lithography of Quantum Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atomic Force Microscope Cantilever Array for Parallel Lithography of Quantum Devices

著者

和文:	Kuniyuki Kakushima, Toshiyuki Watanabe, Kouji Shimamoto, Takushi Gouda, Manabu Ataka, Hidenori Mimura, Yoshimasa Isono, Gen Hashiguchi, Yutaka Mihara, Hiroyuki Fujita.
英文:	Kuniyuki Kakushima, Toshiyuki Watanabe, Kouji Shimamoto, Takushi Gouda, Manabu Ataka, Hidenori Mimura, Yoshimasa Isono, Gen Hashiguchi, Yutaka Mihara, Hiroyuki Fujita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 43 pp. 4041-4044

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: