論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-situ monitoring during LT -GaN-2-step anneal-AlGaN growth in MOCVD by multi-channel reflectmetry

著者

和文:	M. Takeuchi, S. Hayakawa, R. Kajitani, T. Kinoshita, K. Kawasaki, K. Takada, Y. Aoyagi.
英文:	M. Takeuchi, S. Hayakawa, R. Kajitani, T. Kinoshita, K. Kawasaki, K. Takada, Y. Aoyagi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 7a-N-12

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	The 66th Autumn Meeting, 2005, The Japan Society of Applied Physics
英文:

開催地

和文:	Tokusima Univ., Jyosanjima, Tokushima
英文:

T2R2について