Fabrication of Silicon 3D Photonic Crystal Structures in 100nm Scale Using Double Directional Etchings Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Silicon 3D Photonic Crystal Structures in 100nm Scale Using Double Directional Etchings Method

著者

和文:	D. Hippo, Y. Kawata, Y. Tsuchiya, H. Mizuta, S. Oda, K. Urakawa, N. Koshida.
英文:	D. Hippo, Y. Kawata, Y. Tsuchiya, H. Mizuta, S. Oda, K. Urakawa, N. Koshida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	CLEO/QELS 2006

巻, 号, ページ

Vol. *

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Long Beach