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論文・著書情報


タイトル
和文:セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ 第1報スライダ表面への導入と駆動実験 
英文: 
著者
和文: 小谷浩之, 青木佑一, 高崎正也, 大竹尚登, 水野毅.  
英文: Hiroyuki Kotani, Yuichi Aoki, Masaya Takasaki, NAOTO OHTAKE, Mizuno.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 1017-1018
出版年月 2006年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2006年度精密工学会春季大会 
英文: 
開催地
和文:東京理科大学野田キャンパス 
英文: 

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