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論文・著書情報


タイトル
和文:RFプラズマCVD法によるアモルファス炭素膜の電気的特性評価 
英文: 
著者
和文: 西英隆, 赤坂大樹, 大竹尚登.  
英文: 西英隆, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 641-642
出版年月 2006年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2006年度精密工学会春季大会 
英文: 
開催地
和文:東京理科大学野田キャンパス 
英文: 

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