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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Aluminum Diffusion in Amorphous Silica Film 
著者
和文: 福山博之.  
英文: HIROYUKI FUKUYAMA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proceedings of The Symposium on Interconnect and Contact Metalbization(The Electrochemical Society)Paris, France. Aug. 
巻, 号, ページ Vol. 97-31        pp. 165-172
出版年月 1997年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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