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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:TiO┣D2x┫D2 Thin Films Fabricated by Means of RF Reactive Sputtering Using a Triode Source 
著者
和文: 山内尚雄.  
英文: HISAO YAMAUCHI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:┣DBHigh-Tech Ceramics(/)-┫DB, P. Vincenzini, Ed. , Elsevier Science, Amsterdam 
巻, 号, ページ         pp. 649-656
出版年月 1987年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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