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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:The Growth Kinetics of rf Sputtered Ba┣D22┫D2Si┣D22┫D2TiO┣D28┫D2 Thin Films 
著者
和文: 山内尚雄.  
英文: HISAO YAMAUCHI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 71    No. 10    pp. 4903-4907
出版年月 1992年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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