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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング白金膜の組織と機械的性質 
英文:Microstructure and Mechanical Properties of Sputtered Platinum Films 
著者
和文: H.Tokura, B.Window, D.Neely, M.Swain..  
英文: H.Tokura, B.Window, D.Neely, M.Swain..  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Thin Solid Films 
巻, 号, ページ     No. 253    pp. 344-348
出版年月 1994年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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