レーザ描画による窒化アルミニウムの選択気相成長

論文・著書情報

タイトル

和文:	レーザ描画による窒化アルミニウムの選択気相成長
英文:	Selective Growth of Aluminum Nitride by Laser-Enhanced Reactive Vapor Deposition

著者

和文:	大竹尚登, 劉力生, 横山知明, 加藤和典.
英文:	大竹尚登, 劉力生, 横山知明, 加藤和典.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集(C編)
英文:	Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers

巻, 号, ページ

Vol. 62 No. 603 pp. 4400-4406

出版年月

1996年

出版者

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会議名称

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開催地

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