Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:On the material removal mechanisms in the finishing of silicon using an indentation model 
著者
和文: 吉野雅彦.  
英文: MASAHIKO YOSHINO.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc.U.S.-Japan symposium on high-efficiency 
巻, 号, ページ         pp. 11-43
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.