An ab-into molecular-orbital analysis on the initial plasma CVD process of a-Si:H film on glass substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	An ab-into molecular-orbital analysis on the initial plasma CVD process of a-Si:H film on glass substrate

著者

和文:	K. Miyazaki, K. Nakajima, K. Sato, H. Koinuma.
英文:	K. Miyazaki, K. Nakajima, K. Sato, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 317 pp. 134-138

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: