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論文・著書情報


タイトル
和文:プラズマプロセスを用いた溶液気化MOCVD法によるSrBi2Ta2O9薄膜の作製 
英文: 
著者
和文: 神保武人, 佐野春行, 舟窪浩, 徳光永輔, 石原宏.  
英文: 神保武人, 佐野春行, HIROSHI FUNAKUBO, 徳光永輔, HIROSHI ISHIWARA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:社団法人 電気通信学会 信学技報 
英文: 
巻, 号, ページ

Vol. ED98-247

pp. 7-12

出版年月 1999年 
出版者
和文: 
英文: 

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