Scanning probe microscopy and quantum chemical studies on the initial growth process of a-Si:H plasma CVD on graphite

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Scanning probe microscopy and quantum chemical studies on the initial growth process of a-Si:H plasma CVD on graphite

著者

和文:	K. Nakajima, K. Miyazaki, A. Ohtomo, K. Sato, H. Koinuma.
英文:	K. Nakajima, K. Miyazaki, A. Ohtomo, K. Sato, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Tech. Digest of 9th Int'l PVSEC

巻, 号, ページ

pp. 569

出版年月

1996年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: