In-situ Optical Diagonosis on Hydrogenated Amorphous Silicon Groeth by Vibration Superimposed Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-situ Optical Diagonosis on Hydrogenated Amorphous Silicon Groeth by Vibration Superimposed Plasma CVD

著者

和文:	N. Naito, A. Takano, M. Sumiya, M. Kawasaki, H. Koinuma.
英文:	N. Naito, A. Takano, M. Sumiya, M. Kawasaki, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 66 pp. 1071-1073

出版年月

1995年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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