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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Plasma CVD of SiO2 on Air-Sxposed Surface by Cold Plasma Torch 
著者
和文: H.K. Ha, K. Inomata, H. Koinuma.  
英文: H.K. Ha, K. Inomata, H. Koinuma.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J. Electrochem. Soc.  
巻, 号, ページ Vol. 142        pp. 2426-2730
出版年月 1995年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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