Pulsed Laser Deposition of Titanium Nitride Thin Films with High Electric Conductivity

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pulsed Laser Deposition of Titanium Nitride Thin Films with High Electric Conductivity

著者

和文:	M.B. Lee, M. Kawasaki, M. Yoshimoto, H. Koinuma.
英文:	M.B. Lee, M. Kawasaki, M. Yoshimoto, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 11th Korea-Japan New Ceramics Seminar

巻, 号, ページ

pp. 226-269

出版年月

1995年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: