Piezoelectric Micropump Using Resonance Drive

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Piezoelectric Micropump Using Resonance Drive

著者

和文:	J. H. Park, S. Yokota, K. Yoshida.
英文:	J. H. Park, S. Yokota, K. Yoshida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 5th Triennial Int. Symp. on Fluid Control, Measurement and Visualization (FLUCOME'97)

巻, 号, ページ

pp. 319

出版年月

1997年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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