In situ growth monitoring during metaloganic chemical vapor deposition of YBa2Cu3Ox thinfilms by spectroscopic ellipsometry

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In situ growth monitoring during metaloganic chemical vapor deposition of YBa2Cu3Ox thinfilms by spectroscopic ellipsometry

著者

和文:	S.YAMAMOTO, S. SUGAI, Y. MATSUKAWA, A.SENGOKU, H.TOBISAKA, T.HATTORI, S.ODA.
英文:	S.YAMAMOTO, S. SUGAI, Y. MATSUKAWA, A.SENGOKU, H.TOBISAKA, T.HATTORI, S.ODA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal if Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 38 No. 6A/B pp. L632-L635

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: