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論文・著書情報


タイトル
和文:マグネトロンスパッタ法により合成した:B-C-N系薄膜の機械的特性 
英文: 
著者
和文: 高橋徹, 百瀬英明, 大竹尚登, 安原鋭幸, 加藤和典.  
英文: 高橋徹, 百瀬英明, 大竹尚登, 安原鋭幸, 加藤和典.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第13回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 124-125
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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