焼結ダイヤモンドターゲットを用いたスパッタリング法によるDLC膜の機械的特性 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	焼結ダイヤモンドターゲットを用いたスパッタリング法によるDLC膜の機械的特性
英文:

著者

和文:	高橋徹, 高間康之, 大竹尚登, 加藤和典.
英文:	高橋徹, 高間康之, 大竹尚登, 加藤和典.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第7回機械材料・材料加工技術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 99-23 pp. 301-303

出版年月

1999年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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