TEM observation of ferroelectric films grown on sillicon using Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub> buffer layer（共著）

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	TEM observation of ferroelectric films grown on sillicon using Y₂O₃ buffer layer（共著）

著者

和文:	M. M. Sarinanto, S. Imada, S. Shoriki, B-E. Park, E. Tokumitsu, H. Ishiwara.
英文:	M. M. Sarinanto, S. Imada, S. Shoriki, B-E. Park, E. Tokumitsu, H. Ishiwara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Intern. Sympo. on Integrated Ferroelectric

巻, 号, ページ

Vol. 27 pp. 81-91

出版年月

1999年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: