Pt/SrBi<sub>2</sub>Ta<sub>2</sub>O<sub>9</sub>/Pt/SrTa<sub>2</sub>O<sub>6</sub>/SiON/Siの構造の作製と保持特性の評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	Pt/SrBi₂Ta₂O₉/Pt/SrTa₂O₆/SiON/Siの構造の作製と保持特性の評価
英文:

著者

和文:	藤井巌, 徳光永輔, 石原宏.
英文:	藤井巌, 徳光永輔, 石原宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第46回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

pp. 29p-L-3/II

出版年月

1999年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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