オゾン雰囲気中でアニールしたPZT/Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Si構造の評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	オゾン雰囲気中でアニールしたPZT/Y₂O₃/Si構造の評価
英文:

著者

和文:	朴炳垠, 高橋大輔, 徳光永輔, 石原宏.
英文:	朴炳垠, 高橋大輔, 徳光永輔, 石原宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第60回応用物理学会学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

pp. 2p-A-5/II

出版年月

1999年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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